至纯科技等公布“一种兼容多尺寸晶圆的马兰戈尼干燥方法”专利

天眼查APP显示，近日，上海至纯洁净系统科技股份有限公司,至微半导体（上海）有限公司申请的“一种兼容多尺寸晶圆的马兰戈尼干燥方法”专利公布。 摘要显示，本发明公开了晶圆湿法清洗领域，具体涉及一种兼容多尺寸晶圆的马兰戈尼干燥方法，应用于包含升降机构及控制器的干燥机，该方法由控制器执行，首先接收晶圆尺寸规格信号，驱动升降机构将晶圆托架调整至对应的预设工艺高度，使不同尺寸晶圆的上边缘均位于腔体顶部的预设干燥工作区，随后在浸没状态下导入异丙醇蒸汽构建表面张力梯度，最后控制排水阀开启使液位缓慢下降，利用马兰戈尼效应移除水分。本发明通过升降机构的物理位置补偿，确保了不同直径晶圆的上边缘均能精确对齐于干燥腔体顶部的预设干燥工作区，实现了单一设备对不同规格晶圆的兼容，确保了化学气氛浓度与温度场的均一性，提升了干燥质量与产线柔性。 （：贺